臭氧消毒原理从化学上可以认为是一种氧化反应。

　　（1）臭氧消毒细菌的原理：

　　臭氧对细菌的灭活反应总是进行的很迅速。与其它杀菌剂不同的是：臭氧能与细菌细胞壁脂类双键反应, 穿入菌体内部，作用于蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，从而导致细菌死亡。臭氧还作用于细胞内的核物质，如核酸中的嘌呤和嘧啶破坏DNA。

　　（2）臭氧对病毒的灭活原理：

　　臭氧对病毒的作用首先是病毒的衣体壳蛋白的四条多肽链，并使RNA受到损伤，特别是形成它的蛋白质。噬菌体被臭氧氧化后，电镜观察可见其表皮被破碎成许多碎片，从中释放出许多核糖核酸，干扰其吸附到寄存体上。

　 （3）臭氧消毒的优势：

   消毒全面彻底、消毒的空间无死角，因为臭氧是气体，气体的流动性无处不在。不像紫外线和化学药物消毒，照射或喷洒不到的地方，就起不到消毒作用。也不像其他高温消毒方法，不会因高温引起设备损坏或者造成二次污染。